真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經濟各行業(yè)應用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。近年來， 伴隨著我國經濟持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關下游應用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業(yè)實現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。

（1)泵總體結構型式

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。

立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。

泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。

（2)泵的傳動方式

真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的最大缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。

真空泵分類：

SK系列直聯(lián)水環(huán)式真空泵                                               2SK系列水環(huán)式真空泵                                            W系列水力噴射器

SK系列直聯(lián)水環(huán)式真空泵：包含SK-0.4、SK-0.8 、SK-1.0 、SK-1.5B四個規(guī)格，是用來抽吸空氣和其它無腐蝕性，不溶于水、不含有固體顆粒的氣體，以便在密閉容器中形成真空。吸入氣體中允許混有少量液體。SK直聯(lián)式水環(huán)真空泵可直接從大氣壓起動抽氣。機泵同軸、結構緊湊、維修方便、銅葉輪材質。SK型直聯(lián)式水環(huán)真空泵廣泛用于電子器件制造、真空干燥、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮、真空浸漬、進濾、浸漬、涂臘、焊接、冶煉、化工、輕工、石油、醫(yī)療、制藥、印染、半導體、食品、原子能、紡織等科研機關、大專院校、工礦企業(yè)。SK型直聯(lián)水環(huán)式真空泵不可用來抽含氧過高的、有毒的、易爆的或與泵油發(fā)生化學作用的氣體，也不可當作壓縮機或傳輸泵使用。

2SK系列水環(huán)式真空泵：2SK系列水環(huán)式真空泵相當于2臺SK系列水環(huán)真空泵串聯(lián)使用。因SK系列水環(huán)真空泵只能達到-700mmHg的極限真空度，為達到較高真空及高真空下的較大抽氣速率，20世紀80年代國內開發(fā)了2SK系列真空泵。水環(huán)真空泵-大氣噴射泵機組是用來抽吸空氣和其它無腐蝕性、不溶于水、不含有固體顆粒的氣體以便在密閉容器中獲得較高的真空。它被廣泛應用于：提煉食品原料、紡織、化工、醫(yī)藥、造紙業(yè)和冶金工業(yè)及電子領域的真空蒸發(fā)、真空回潮、真空浸漬、真空干燥及真空冶煉等領域。具有真空度高、在高真空區(qū)抽速大及結構緊湊、工作可靠、維修方便等特點。

W系列水力噴射器：W系列水力噴射器是綜合國內同類產品之優(yōu)點革新制造的是一種具有抽真空、冷凝、排水等三種有效能的機械裝置。水力噴射器分鑄鐵和不銹鋼兩種材質，應用極為廣泛，主要適用于真空與蒸發(fā)系統(tǒng)，進行真空蒸發(fā)、真空抽水、真空過濾、真空結晶、干燥、脫臭等工藝，是制糖、制藥、化工、食品、制鹽、味精、牛奶、發(fā)酵、釀造、輕工、國防部門廣泛需要的設備。

2X型雙級旋片式真空泵                                     XD型系列單級旋片式真空泵                                             XZ型旋片式真空泵

2X型雙級旋片式真空泵 :為雙級結構，它的工作性能由高壓級與低壓級二部分組成，它的吸入口與真空容器或真空設備連接，在運轉時容器內的氣體將大量吸入與排出。

XD型系列單級旋片式真空泵:單級旋片式機械真空泵，是一種使用范圍廣泛的獲得真空的基本設備，操作容易，維護方便。XD旋片真空泵適宜于各工業(yè)的真空應用,例如：食品制造業(yè)上的各類食品的真空包裝；紡織工業(yè)上的各種松軟物品的真空壓縮包裝；化學工業(yè)上的真空干燥、蒸餾、濃縮.

XZ旋片式真空泵:泵內偏心安裝的轉子與定子固定面相切，兩個（或以上）旋片在轉子槽內滑動（通常為徑向）并與定子內壁相接觸，將泵腔分為幾個可變容積的一種旋轉變容積真空泵。通常，旋片與泵腔之間的間隙用油來作為密封，所以旋片真空泵一般是油封式機械真空泵。

2XZ型旋片式真空泵                                                                 2XZ-B型旋片式真空泵

2XZ系列真空泵:為雙級直聯(lián)結構，它的吸入口與真空設備連接，在運轉時將容器內的氣體大量吸入與排出，當設備獲得真空時，高壓級排氣閥封閉，高壓級入口的氣體將轉送到第二級，并經第二級吸入與排出真空設備可獲得了一定的真空。

2XZ-B型旋片式真空泵：雙級直聯(lián)結構，它的工作性能由高壓級與低壓級二部分組成，它的吸入口與真空設備連接，在運轉時容器內的氣體將大量吸入與排出，當設備獲得真空時，高壓級排氣閥封閉，高壓級吸入的氣體將轉送到第二級，并經第二級吸入與排出，這樣真空設備可獲得一定的真空。

真空泵分類：

真空泵	按工作原理分	氣體輸送泵	變容真空泵	往復式
				旋片式	油封式	旋片式
						滑閥式
						定片式
						余擺線式
						多室旋片式
					干式螺桿
					液環(huán)式
					羅茨真空泵
			動量傳輸泵	分子真空泵	牽引分子泵
					渦輪分子泵
					復合分子泵
				噴射真空泵	液體噴射真空泵
					氣體噴射真空泵
					蒸汽噴射真空泵
				擴散泵	自凈化擴散泵
					分餾式擴散泵
				擴散噴射泵
				離子輸運泵
		氣體捕集泵	吸附泵
			吸氣劑泵
			吸氣劑離子泵	蒸發(fā)離子泵
				濺射離子泵
			低溫泵
	按真空度分	粗真空度
		高真空度	滑閥式真空泵
			旋片式真空泵
			羅茨真空泵
		超高真空度

真空的定義

真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)

真空度

處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

真空度單位

通常用托（Torr）為單位，國際上取用帕（Pa）作為單位。

1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱

托與帕的轉換

1托=133.322帕　或　1帕=7.5×10-3托

平均自由程

作無規(guī)則熱運動的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號“λ”表示。

流量

單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

流導

表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。 U=Q/(P2- P1)

壓力或壓強

氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。

標準大氣壓

壓強為每平方厘米101325達因的氣壓，符號：（Atm）。

極限真空

真空容器經充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣，再經12小時抽真空，最后一個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。

抽氣速率

在一定的壓強和溫度下，單位時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即Sp=Q/（P－P0）

冷阱（水冷擋板）

置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。

氣鎮(zhèn)閥

油封機械真空泵的壓縮室上開一小孔，并裝上調節(jié)閥，當打開閥并調節(jié)入氣量，轉子轉到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。

真空冷凍干燥

真空冷凍干燥，也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達到干燥目的。

真空蒸鍍

在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。

真空干燥

利用真空環(huán)境下沸點低的特點來干燥物品的方法。

真空系統(tǒng)常用名稱

①主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。

②前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。

③粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。